CONTROL OF SI-H BONDS IN MU-C-SI-H PREPARED BY HYDROGEN PLASMA SPUTTERING

被引：3

作者：

KOMORI, M

FURUKAWA, S

MIYASATO, T

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0375-9601(89)90017-0

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：401 / 405

页数：5

共 7 条

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