MICRO-MACHINING - A SURVEY OF THE MOST COMMONLY USED PROCESSES

被引：43

作者：

DELAPIERRE, G

机构：

[1] CEA, France

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 17卷 / 1-2期

关键词：

45;

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80072-1

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：123 / 138

页数：16

共 45 条

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