SOME EXPERIMENTAL STUDIES ON METAL IMPLANTATION

被引：32

作者：

LI, HT

LIU, PS

CHANG, SC

LU, HC

WANG, HH

TAO, K

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1981年 / 182卷 / APR期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90821-1

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：915 / 917

页数：3

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共 1 条

[1] HARTLEY NEW, 1978, P C SURFACE TREATMEN