CHROMIUM DEPOSITION FROM DICUMENE-CHROMIUM TO FORM METAL-SEMICONDUCTOR DEVICES

被引：14

作者：

ANANTHA, NG

DOO, VY

SETO, DK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2407936

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：163 / +

共 10 条

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