USE OF RING GAP DISCHARGES FOR HIGH-RATE VACUUM COATING

被引：21

作者：

SCHILLER, S ^{[1
]}

HEISIG, U ^{[1
]}

GOEDICKE, K ^{[1
]}

机构：

[1] FORSCH INST MANFRED VON ARDENNE,DDR-8051 DRESDEN,GER DEM REP

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569273

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：815 / 818

页数：4

共 16 条

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