REACTION-KINETICS IN AL-PD2SI-SI(100) JUNCTIONS

被引：3

作者：

LEWIS, JE

HO, PS

LIBERTINI, SH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570798

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：407 / 408

页数：2

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共 5 条

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