MECHANISMS OF STRESS RELIEF IN THIN FILMS

被引:15
作者
CHAUDHARI, P
MADER, S
FREEDMAN, JF
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315707
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:618 / +
页数:1
相关论文
共 9 条