PARAMETRIC EVALUATION OF SPUTTERING IN A PLANAR, DIODE GLOW-DISCHARGE .1. SPUTTERING OF OXYGEN-FREE HARD COPPER (OFHC)

被引：33

作者：

FANG, D

MARCUS, RK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0584-8547(88)80184-8

中图分类号：

O433 [光谱学];

学科分类号：

0703 ; 070302 ;

摘要：

引用

页码：1451 / 1460

页数：10

共 27 条

[1]

BARSHICK C, COMMUNICATION

[2]

BENGTSON A, COMMUNICATION

BOUMANS, PWJ .

[4]

BROEKAERT JAC, COMMUNICATION

[5]

CARTER G, 1969, ION BOMBARDMENT SOLI

[6]

CHAPMAN B, 1980, DISCHARGE PROCESSES

[7] ION ENERGIES AT CATHODE OF A GLOW DISCHARGE [J].

DAVIS, WD ;

VANDERSLICE, TA .

PHYSICAL REVIEW, 1963, 131 (01) :219-&

DOGAN, M ;

LAQUA, K ;

MASSMANN, H .

[9]

FANG D, IN PRESS J ANAL ATOM

FERREIRA, NP ;

HUMAN, HGC .