FUNDAMENTAL-MODE VHF-UHF MINIATURE ACOUSTIC RESONATORS AND FILTERS ON SILICON

被引:105
作者
GRUDKOWSKI, TW
BLACK, JF
REEDER, TM
CULLEN, DE
WAGNER, RA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.91745
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:993 / 995
页数:3
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