DEPOSITION OF ULTRATHIN FILMS BY A WITHDRAWAL METHOD

被引:64
作者
YANG, CC [1 ]
JOSEFOWICZ, JY [1 ]
ALEXANDRU, L [1 ]
机构
[1] XEROX RES CTR CANADA LTD,MISSISSAUGA L5L 1J9,ONTARIO,CANADA
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(80)90446-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:117 / 127
页数:11
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