FORMATION OF A NEARLY PURE ALUMINUM LAYER IN BERYLLIUM USING ION-IMPLANTATION

被引:4
作者
BROWN, DW [1 ]
MUSKET, RG [1 ]
MUNIR, ZA [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF LAWRENCE LIVERMORE NATL LAB,LIVERMORE,CA 94550
关键词
D O I
10.1063/1.100977
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:326 / 328
页数:3
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