DEPOSITION OF OXIDE FILMS BY REACTIVE EVAPORATION

被引:93
作者
RITTER, E
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1966年 / 3卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1492481
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:225 / &
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