SECONDARY PARTICLE COLLECTION IN ION-IMPLANTATION DOSE MEASUREMENT

被引：13

作者：

JAMBA, DM

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1978年 / 49卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1135473

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：634 / 638

页数：5

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共 4 条

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