PATTERNED WAFER INSPECTION USING LASER HOLOGRAPHY AND SPATIAL-FREQUENCY FILTERING

被引：11

作者：

CAVAN, DL

LIN, LH

HOWE, RB

GRAVES, RE

FUSEK, RL

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584136

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1934 / 1939

页数：6

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共 4 条

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