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ELECTRICAL AND STRUCTURAL-PROPERTIES OF CR-SIO THIN-FILMS
被引：16
作者：
FRONZ, V
ROSNER, B
STORCH, W
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(80)90054-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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