STRUCTURAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF SPUTTERED TUNGSTEN FILMS

被引：29

作者：

SHENG, TT ^{[1
]}

MARCUS, RB ^{[1
]}

ALEXANDER, F ^{[1
]}

REED, WA ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC, MURRAY HILL, NJ 07974 USA

来源：

THIN SOLID FILMS | 1972年 / 14卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(72)90429-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：289 / 298

页数：10

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共 8 条

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