ERRORS IN CURVE FITTING OF PROFILOMETER DATA

被引：2

作者：

SELVERIAN, JH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1992年 / 10卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.577832

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：3378 / 3382

页数：5

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METALLURGICAL TRANSACTIONS A-PHYSICAL METALLURGY AND MATERIALS SCIENCE, 1989, 20 (11) :2217-2245