HIGH-VACUUM VALVE WITH A PROGRAMMED OPENING RATE

被引:2
作者
HABLANIA.MH [1 ]
LANDFORS, AA [1 ]
机构
[1] VARIAN, NATL RES CORP OPERATION, LEXINGTON, MA 02173 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.1318615
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:344 / 346
页数:3
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共 2 条
[1]   ADVANCES IN DIFFUSION PUMP TECHNOLOGY [J].
HABLANIAN, MH ;
MALIAKAL, JC .
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1973, 10 (01) :58-64
[2]  
LEVENSON L, 1961, 6 T S AM VAC SOC, P372