ZERO-PROFILE DIFFERENTIALLY PUMPED WINDOW FOR ULTRAHIGH-VACUUM

被引：5

作者：

TOBIN, RG ^{[1
]}

CHUNG, C ^{[1
]}

LUO, JS ^{[1
]}

机构：

[1] MICHIGAN STATE UNIV,CTR FUNDAMENTAL MAT RES,E LANSING,MI 48824

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1994年 / 12卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.578897

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：264 / 264

页数：1