RELATIONSHIP BETWEEN STRUCTURE AND SPUTTERING PARAMETERS IN NBN FILMS

被引：22

作者：

ALESSANDRINI, EI

SADAGOPAN, V

LAIBOWITZ, RB

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1971年 / 8卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1316283

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：188 / +

页数：1

共 11 条

[1]

GAVALER JR, 1970, B AM PHYS SOC, V15, P837

[2]

GUARD RW, 1967, T METALL SOC AIME, V239, P643

[3] CRITICAL DATA OF NIOBIUM NITRIDE IN TRANSVERSE MAGNETIC FIELDS [J].

HECHLER, K ;

SAUR, E ;

WIZGALL, H .

ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1967, 205 (04) :400-&

[4] STRONG-COUPLING PARAMETERS FOR SUPERCONDUCTORS [J].

LAIBOWITZ, RB ;

SADAGOPAN, V ;

SEIDEN, PE .

PHYSICS LETTERS A, 1970, A 31 (03) :133-+

[5] SUPERCONDUCTIVE TRANSITION TEMPERATURES OF REACTIVELY SPUTTERED NIOBIUM FILMS [J].

MITSZUOKA, T ;

YAMASHITA, T ;

NAKAZAWA, T ;

ONODERA, Y ;

SAITO, Y ;

ANAYAMA, T .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1968, 39 (10) :4788-+

[6]

PINSKER ZG, 1953, ELECTRON DIFFRACTION, P108

[7]

ROBERTS BW, 1964, PROGR CRYOGENICS, V4, P159

[8]

SADAGOPAN V, UNPUBLISHED

[9] UBER SUPRALEITENDE VERBINDUNGEN DES NIOB [J].

SCHRODER, E .

ZEITSCHRIFT FUR NATURFORSCHUNG PART A-ASTROPHYSIK PHYSIK UND PHYSIKALISCHE CHEMIE, 1957, 12 (03) :247-256

[10] STRUCTURE DES NITRURES DE NIOBIUM [J].

TERAO, N .

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1965, 4 (05) :353-&

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