MICROWAVE SPUTTERING SYSTEM FOR THE FABRICATION OF THIN SOLID FILMS

被引：8

作者：

KATO, I ^{[1
]}

CARD, HC ^{[1
]}

KAO, KC ^{[1
]}

MEJIA, SR ^{[1
]}

CHOW, L ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MANITOBA,DEPT ELECT ENGN,MAT & DEVICES RES LAB,WINNIPEG R3T 2N2,MANITOBA,CANADA

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1136929

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：3