ALUMINUM METALLIZATION AND CONTACTS FOR INTEGRATED CIRCUITS

被引：13

作者：

LANE, CH

机构：

来源：

METALLURGICAL TRANSACTIONS | 1970年 / 1卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1007/BF02811599

中图分类号：

TF [冶金工业];

学科分类号：

0806 ;

摘要：

引用

页码：713 / &

共 25 条

[1]

BERGER WM, 1966, PHYSICS FAILURE ELEC, V4, P16

[2]

BIONDI FJ, 1958, TRANSISTOR TECHNOLOG, V3, P242

[3]

BIONDI FJ, 1958, TRANSISTOR TECHNOLOG, V3, P240

[4]

BLACK JR, 1968, RADCTR68243 RADC US

[5]

DEAL BE, 1967, J ELECTROCHEM SOC, V114, P268

[6] CLIMB OF DISLOCATION LOOPS IN ZINC [J].

DOBSON, PS ;

SMALLMAN, RE .

PROCEEDINGS OF THE ROYAL SOCIETY OF LONDON SERIES A-MATHEMATICAL AND PHYSICAL SCIENCES, 1966, 293 (1434) :423-&

[7]

FISHER AW, 1966, J ELECTROCHEM SOC, V113, P1054

[8]

HANSEN M, 1958, CONSTITUTION BINARY, P132

[9]

Hauffe K., 1965, OXID MET

[10]

JUNGBLUTH ED, 1966, PHYSICS FAILURE ELEC, V4, P385