PHOTOACOUSTIC MICROSCOPY OF AN INTEGRATED-CIRCUIT

被引:34
作者
FAVRO, LD
KUO, PK
POUCH, JJ
THOMAS, RL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.91662
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:953 / 954
页数:2
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