DIFFUSION BARRIERS IN THIN-FILMS

被引：650

作者：

NICOLET, MA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(78)90184-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：415 / 443

页数：29

共 96 条

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