CHEMICAL EVAPORATION AND DEPOSITION OF SOLIDS IN A NONISOTHERMAL PLASMA - CHEMICAL TRANSPORT OF CARBON

被引：51

作者：

VEPREK, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(72)90236-9

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：101 / &

共 77 条

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