GROWTH AND ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF R F SPUTTERED ALUMINIUM OXIDE

被引：20

作者：

PRATT, IH

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1969年 / 3卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(69)90125-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

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页码：R23 / &

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共 2 条

[1]

AUGUSTINE E, 1966, 5 P MICR S

[2]

PRATT IH, 1968, T METALL SOC AIME, V242, P526