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VERSATILE SAMPLE TRANSFER MECHANISM
被引：9
作者：
POLIZZOTTI, RS
SCHWARZ, JA
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1980年
/
17卷
/
02期
关键词：
Compendex;
D O I：
10.1116/1.570533
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
VACUUM TECHNOLOGY
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页码：655 / 656
页数：2
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