MICROMACHINES ON THE MARCH

被引：64

作者：

BRYZEK, J ^{[1
]}

PETERSEN, K ^{[1
]}

MCCULLEY, W ^{[1
]}

机构：

[1] LUCAS NOVASENSOR,FREMONT,CA

来源：

IEEE SPECTRUM | 1994年 / 31卷 / 05期

基金：

美国国家科学基金会;

关键词：

D O I：

10.1109/6.278394

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

[No abstract available]

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页数：12

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