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AN OPTIMUM CONDITION OF MULTIPOLE FIELD FOR AN ECR-TYPE ION-SOURCE
被引：13
作者：
ISHII, S
AMEMIYA, H
YANOKURA, M
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
09期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L712
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L712 / L715
页数：4
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