PH3 CONCENTRATION MEASUREMENTS BY VACUUM ULTRAVIOLET-ABSORPTION SPECTROSCOPY

被引：1

作者：

HONMA, N

SUGAYA, I

TAKAMI, K

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1980年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.19.779

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：779 / 780

页数：2

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共 2 条

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