EXCITATION AND DETECTION OF VIBRATIONS OF MICROMECHANICAL STRUCTURES USING A DIELECTRIC THIN-FILM

被引：14

作者：

BOUWSTRA, S

BLOM, FR

LAMMERINK, TSJ

YNTEMA, H

SCHRAP, P

FLUITMAN, JHJ

ELWENSPOEK, M

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 17卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80083-6

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

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页码：219 / 223

页数：5

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共 6 条

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