HEAVY-ION MICROLITHOGRAPHY - NEW TOOL TO GENERATE AND INVESTIGATE SUB-MICROSCOPIC STRUCTURES

被引：17

作者：

FISCHER, BE

SPOHR, R

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1980年 / 168卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(80)91260-4

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：241 / 246

页数：6

相关论文

共 6 条

[1]

BENTON EV, 1975, LBL2887 LBL REP

[2]

BRAUN H, 1979, PHYSIK UNSERER Z, V10, P68

[3]

FLEISCHER RL, 1975, NUCLEAR TRACKS SOLID

SPILLER, E ;

FEDER, R ;

TOPALIAN, J ;

EASTMAN, D ;

GUDAT, W ;

SAYRE, D .

[5]

SPILLER E, 1977, TOPICS APPLIED PHYSI, V22

[6]

STEIN KU, 1978, 42 PHYS TAG BERL