DIFFUSION ENHANCEMENT DUE TO LOW-ENERGY ION-BOMBARDMENT DURING SPUTTER ETCHING AND DEPOSITION

被引：77

作者：

ELTOUKHY, AH

GREENE, JE

机构：

[1] UNIV ILLINOIS,DEPT MECH ENGN,URBANA,IL 61801

[2] UNIV ILLINOIS,DEPT MET,URBANA,IL 61801

[3] UNIV ILLINOIS,COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801

[4] UNIV ILLINOIS,MAT RES LAB,URBANA,IL 61801

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.328265

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：4444 / 4452

页数：9