NEW INTERFEROMETRIC ALIGNMENT TECHNIQUE

被引：77

作者：

FLANDERS, DC

SMITH, HI

AUSTIN, S

机构：

[1] MIT,LINCOLN LAB,LEXINGTON,MA 02173

[2] MIT,ELECTR RES LAB,CAMBRIDGE,MA 02139

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1977年 / 31卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1063/1.89719

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：426 / 428

页数：3

相关论文

共 2 条

[1] [Anonymous], DIFFRACTION GRATINGS
[2] AUSTIN S, 1977, 14TH P S EL ION PHOT