PLASMA-CVD

被引：3

作者：

EISENBERG, S

机构：

来源：

MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK | 1989年 / 20卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1002/mawe.19890201216

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：429 / 438

页数：10

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