SURFACE COMPOSITION ANALYSIS BY BINARY SCATTERING OF NOBLE GAS IONS

被引:52
作者
GOFF, RF
SMITH, DP
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1970年 / 7卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.1315833
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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