MINIATURE CRYSTALLINE QUARTZ ELECTROMECHANICAL STRUCTURES

被引：13

作者：

CLAYTON, LD

EERNISSE, EP

WARD, RW

WIGGINS, RB

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)87115-X

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：171 / 177

页数：7

共 20 条

[1]

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[2]

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