ION-IMPLANTATION AND LASER ANNEALING

被引：9

作者：

SORENSEN, G

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 186卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90905-8

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：189 / 192

页数：4

共 8 条

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