RAMAN-SCATTERING DEPTH PROFILE OF THE STRUCTURE OF ION-IMPLANTED GAAS

被引:80
作者
HOLTZ, M
ZALLEN, R
BRAFMAN, O
MATTESON, S
机构
[1] VIRGINIA POLYTECH INST & STATE UNIV,DEPT PHYS,BLACKSBURG,VA 24061
[2] TEXAS INSTRUMENTS INC,CENT RES LABS,DALLAS,TX 75265
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1988年 / 37卷 / 09期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.37.4609
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:4609 / 4617
页数:9
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