APPLICATION OF WHITE-LIGHT INTERFEROMETRY IN THIN-FILM MEASUREMENTS

被引:40
作者
LIN, C
SULLIVAN, RF
机构
关键词
D O I
10.1147/rd.163.0269
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
引用
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页码:269 / &
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共 9 条
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