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ADHESION MEASUREMENT OF METAL-FILMS ON A SI(111) SURFACE BY A MICROTRIBOMETER
被引：12
作者：
KINBARA, A
BABA, S
KIKUCHI, A
机构：
关键词：
D O I：
10.1163/156856188X00011
中图分类号：
TQ [化学工业];
学科分类号：
0817 ;
摘要：
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