DYNAMIC INSTABILITIES IN HETEROGENEOUS GAS/SOLID REACTIONS

被引:16
作者
FITZER, E
机构
[1] Institut für Chemische Technik, Universität Karlsruhe
关键词
D O I
10.1002/cite.330410521
中图分类号
TQ [化学工业];
学科分类号
0817 ;
摘要
Die simultane Heißwandpyrolyse von dampfförmigen Chloriden des Siliciums, Bors oder Titans und Methan zu Carbiden mit überschüssigem Kohlenstoff führt zu heterogenen Abscheidungen mit mikroskopisch erkennbarem Lamellengefüge. Die Schichtung parallel zur Substratoberfläche gibt einen Einblick in den oszillierenden Pyrolyseablauf mit Perioden in der Größenordnung von Sekunden. Der Reaktionsablauf im Gasgrenzfilm wird mit dem dynamisch instabilen Verhalten stationär betriebener Reaktoren für chemische Umsetzungen verglichen. Auf einen analogen Oszillationsmechanismus bei der Pyrokohlenstoff‐Abscheidung aus Methan wird hingewiesen. Copyright © 1969 Verlag Chemie, GmbH
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