RESISTIVITY AND STRUCTURE OF EVAPORATED ALUMINUM FILMS

被引:64
作者
MAYADAS, AF
FEDER, R
ROSENBERG, R
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315731
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:1
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