NEW APPARATUS FOR CATHODIC SPUTTERING

被引:6
作者
HOLLAND, L
机构
关键词
D O I
10.1038/1771229a0
中图分类号
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要
引用
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共 4 条
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