0.5 MU-M PARTICULATE PERFORMANCE OF A BATCH PROCESS IMPLANTER

被引：4

作者：

JOST, J

ANGELO, G

TURNER, J

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1987年 / 21卷 / 2-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90859-7

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：372 / 377

页数：6

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共 4 条

[1]

BEERS V, 1962, INTRO THEORY ERROR

[2]

GUNAWARDENA S, 1984, CHALLENGE CONTROL CO

[3]

ROBBINS H, 1975, INTRO STATISTICS

[4]

1985, UNPUB VARIAN PARTICU