FOCUSED ION-BEAM INDUCED OPTICAL-EMISSION SPECTROSCOPY

被引:8
作者
WARD, BW
WARD, M
EDWARDS, D
ECONOMOU, NP
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.584130
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:2100 / 2103
页数:4
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共 5 条
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