CARRIER REMOVAL AFTER H1+, H2+ OR H3+ IMPLANTS INTO GAAS

被引:1
作者
GECIM, HC [1 ]
SEALY, BJ [1 ]
STEPHENS, KG [1 ]
机构
[1] UNIV SURREY,DEPT ELECT & ELECTR ENGN,GUILDFORD GU2 5XH,SURREY,ENGLAND
关键词
D O I
10.1049/el:19760512
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:668 / 669
页数:2
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