UNDOPED LOW RESISTIVITY CDS THIN-FILMS DEPOSITED ON LOW-TEMPERATURE (APPROXIMATELY 200-DEGREES-C) SUBSTRATES BY SINGLE SOURCE EVAPORATION

被引:13
作者
ARYA, RR [1 ]
BEAULIEU, R [1 ]
KWIETNIAK, M [1 ]
LOFERSKI, J [1 ]
KAZMERSKI, L [1 ]
机构
[1] SOLAR ENERGY RES INST,GOLDEN,CO 80401
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.571288
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:306 / 307
页数:2
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