DESIGN CRITERIA FOR UNIFORM REACTION-RATES IN AN OXYGEN PLASMA

被引：49

作者：

BATTEY, JF ^{[1
]}

机构：

[1] INT PLASMA CORP,HAYWARD,CA 94544

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1977年 / 24卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1977.18693

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：140 / 146

页数：7

相关论文

共 4 条

[1] DISSOCIATION OF OXYGEN IN A RADIOFREQUENCY ELECTRICAL DISCHARGE
BELL, AT
KWONG, K
[J]. AICHE JOURNAL, 1972, 18 (05) : 990 - &
[2] BERSIN RL, 1970, SOLID STATE TECHNOL, P39
[3] Irvin S.M., 1968, P KODAK PHOTORESIST, V2, P26
[4] KAUFMAN F, 1961, PROGR REACTION KINET, V1, P12