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PREPARATION OF Y-BA-CU-O THIN-FILMS BY RF-MAGNETRON SPUTTERING
被引：19
作者：
OHKUMA, H
MOCHIKU, T
KANKE, Y
WEN, ZM
YOKOYAMA, S
ASANO, H
IGUCHI, I
YAMAKA, E
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
09期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L1484
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L1484 / L1486
页数：3
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